評価設備

レーザー干渉計 
測定内容:SORI, BOW, GBIR, SBIR, 等
測定可能サイズ:2~6inch
カット面方位測定器 
測定内容:結晶方位
測定可能サイズ:2~6inch
原子間力顕微鏡 
測定内容:ナノ表面観察
測定可能サイズ:~8inch
微分干渉顕微鏡 
測定内容:表面観察
測定可能サイズ:~6inch
接触式粗さ計 
測定内容:表面粗さ(Ra, Ry, Rmax, WARP, Wa等)
測定可能サイズ:2~6inch
表面検査装置 
測定内容:表面欠陥(パーティクル, スクラッチ, ピット , 等)
測定可能サイズ:2, 4, 6inch

 

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